菲希爾相敏渦流法工作原理

涂層厚度測量的物理原理
相敏渦流法是根據標準ISO21968測量涂鍍層層厚度的一種方法，它是對傳統的振幅敏感渦流法的一種改進方法。相敏渦流法可用于測量任何基材上的導電涂層，例如，印刷電路板上的銅層，鋼鐵或絕緣材料上的鍍鎳層。

相敏渦流法相對于磁感應法 或振幅敏感渦流法的一個優勢是其不太容易受到太多外界因素的影響。例如，樣品的曲率或其表面粗糙度幾乎不會影響測量結果。因此，相敏渦流法是測量小零件鍍鋅層厚度的理想選擇，且無需額外校準。

相敏渦流法的工作原理
相敏渦流法所用的探頭由周圍圍繞著兩個線圈的鐵素體鐵芯組成。首先，勵磁線圈中的電流產生高頻磁場(kHz-MHz范圍)，該磁場在樣品中產生渦流。

探頭里的另一個線圈，即測量線圈，用來測量交變電阻(阻抗)。探頭的阻抗通過樣品中的渦流修正，與無樣品時探頭產生的激勵渦流相比，其相位發生偏移(相位角φ)。

相位角φ與鍍層厚度以及材料的電導率有關。如果電導率已知，則儀器將此相位與已存儲的特征曲線進行對比，并將其轉換為涂層厚度值。